在使用氧分析儀進行氧含量分析尤其是微量氧分析時，由于空氣中氧含量高達21%氧氣，而如果處理不當極易對樣品的污染和干擾，出現分析結果數據不準確。其主要原因是氧分析儀操作不當以致。以下幾點影響測定的因素： 
       1.氧分析儀氣路系統的簡化及潔凈
       微量分析要求必需有效排除氣路上的各種管件，閥門，表頭等中的死角對樣氣以致的污染。因此，應盡可能簡化氣路系統，選用死角小的連接件等。并且，避免使用水封，油封及臘封等設備，防止溶解氧逸出以致污染，更需避免在樣氣引出*氧分析儀進口的管線上增加易以致污染的凈化設備等。只有這樣才能保證系統潔凈，所得數據準確。

       2.氧分析儀的污染

       在重新使用氧分析儀時，首先須注意在連接取樣管路時是否漏入空氣，并且必需認真將漏入的空氣吹除干凈，盡量不使大量氧氣通過傳感器以延長傳感器壽命。在管道系統凈化過程中，為縮短凈化時間，需要有一定的方法，一般使用高壓放氣及小流量吹除交替進行可迅速凈化管道。 

       3.管道材質的選擇 

       管道材質及表面粗糙度也將影響樣氣中氧含量的變化。一般不宜用塑料管，橡膠管等作為連接管路。通常選用銅管或不銹鋼管，對超微量分析(指<0.1ppm)則必需用拋光過的不銹鋼管。 

       4.氧分析儀的泄漏問題
       氧分析儀在初次啟用前必需嚴格檢漏。氧分析儀只有在嚴密不漏的前提下才能獲得準確的數據結果。任何連接點，焊點，閥門等處的不嚴密，將會導致空氣中的氧反滲進入管道及氧分析儀內部，從而得出含氧量偏高的結果。